华中科技大学

个人基本情况

廖广兰(Liao Guanglan，Professor)，男，华中科技大学机械科学与工程学院机械电子与信息工程系教授、博士生导师，中国机械工程学会、中国微米纳米技术学会高级会员。2009年参与国家级教学团队《机械学科测控课程群教学团队》、2011年入选教育部新世纪优秀人才支持计划、2012年获得国家优秀青年科学基金资助、2013年作为核心人员参加教育部创新团队《微纳制造与纳米测量技术》。近年来主要从事微纳制造、微电子封装及测试等方面的教学科研工作，主持5项国家自然科学基金委优秀青年基金、面上项目、青年基金及对外交流与合作项目，参与国家973、863、重大专项项目等十余项，在ACS Nano、Nanoscale Research Letters、IEEE Trans.、Sensor Actuat A-phys等杂志发表学术论文百余篇，其中录用和发表SCI刊源论文50余篇，多篇文章被Nature Photonics、Nano Lett.、Acs Nano等杂志引用。申请国家发明专利36项，获得授权12项。

电话：027-87793103

邮箱：guanglan.liao@hust.edu.cn

教师主页平台：http://faculty.hust.edu.cn/liaoguanglan/zh_CN/index.htm

主要研究方向

微纳制造与测试

微电子封装

故障诊断

开设课程

《工程测试技术》

《微细加工与纳米技术》

《软件技术基础》

《数据库技术》

近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖承担的科研项目：

1. 国家自然科学基金委优秀青年基金“仿生微纳制造与应用研究”(2013-2015)

2. 国家自然科学基金面上项目“染料敏化太阳能电池光阳极结构的仿生设计与可控制备”(2012-2015)

3. 国家自然科学基金面上项目“热/声激励的高密度超细间距倒装焊缺陷诊断方法研究”(2010-2012)

4. 国家自然科学基金青年基金“MEMS封装失效的诊断与预测方法研究”(2005-2007)

部分授权发明专利：

1. 一种硅湿法刻蚀工艺ZL 200510019052.4

2. 一种三维微型模具的制造方法ZL 200810047229.5

3. 一种短波长光辅助硅片直接键合方法ZL 200810047324.5

4. 一种芯片焊点缺陷在线检测方法及装置ZL 201010160537.6

5. 一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法ZL 201010160958.9

6. 一种仿生微纳结构制备方法ZL 201010161272.1

7. 用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品ZL 201110421633.6

8. 一种仿壁虎脚结构材料制造工艺ZL 201210168024.9

9. 一种太阳能电池光阳极的微纳复合结构及其制备方法ZL 201210179386.8

10. 一种磁场辅助的硅微纳加工工艺及装备ZL 201210192208.9

11. 一种扩散焊制备多层非晶合金与晶态金属复合结构的方法ZL 201210388962.X

12. 一种微米管制造工艺ZL 201310025430.4

荣誉与奖励：

1. 2009年参与国家级教学团队《机械学科测控课程群教学团队》

2. 2011年入选教育部新世纪优秀人才支持计划

3. 2012年获得华中科技大学第三届研究生导师“治学楷模”师表奖

4. 2012年获得国家自然科学基金优秀青年基金

5. 2012年被聘为华中学者“晨星岗”

6. 2013年作为核心人员参加“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队

代表性著作：

1. Wenjun Sheng, Bo Sun, Tielin Shi, Xianhua Tan, Zhengchun Peng, Guanglan Liao*. Quantum Dot-Sensitized Hierarchical Micro/Nanowire Architecture for Photoelectrochemical Water Splitting. ACS Nano. 2014, 8(7): 7163-7169

2. Guanglan Liao, Tielin Shi, Xiaohui Lin, Ziwen Ma. Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding. Sensors and Actuators A-Physical. 2010, 158: 335-341

3. Xianhua Tan, Tielin Shi, Yang Gao, Wenjun Sheng, Bo Sun and Guanglan Liao*. Fabrication of micro/nanotubes by mask-based diffraction lithography. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2014, 24(5): 055006.

4. Xuefeng Yang, Zhengchun Peng, Haibo Zuo, Tielin Shi, Guanglan Liao*. Using hierarchy architecture of Morph butterfly scales for chemical sensing: Experiment and modeling. Sensors And Actuators A-Physical. 2011,167: 367-373

5. Peng P, Liao GL*, Shi TL, Tang ZR, Gao Y. Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate. Applied Surface Science, 2010, 256, 6284-6290